真空電子束焊機焊接就是利用真空中的高度集中的電子流轟擊金屬連接處使之熔合的一種焊接方法。電子束焊接一般是由電子槍內的陰極發射電子，在電子流的通路上裝有聚焦器，使電子流聚集成為高度集中的電子束；并裝有偏轉器，使電子束能對準焊件連接處。特點為焊接變形小、速度快、易實現程序控制。

      真空電子束焊機焊接這種電子束焊接方法的熱能高度集中，并可防止空氣對金屬的有害作用，真空電子束焊接主要用以焊接高熔點和化學活潑性強的金屬（如鎢、鈹、鋯、鉭等）；一臺典型的真空電子束焊機主要包括了主機，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統和監測控制器四大部分。
1.真空電子束焊機主機由電子槍、真空室和工件傳動系統及操作臺組成。
2.真空電子束焊機的高壓電源包括：陽極高壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統。
3.真空電子束焊機的控制箱包括：高壓電源控制裝置、電子槍陰極加熱電源的控制系統、束流控制裝置、聚焦電源控制裝置，以及束偏轉發生器等。